拉曼電鏡聯用系統出現帶來行業全新變革,它通過方便、高性能的拉曼分析,彌補了傳統電鏡和能譜分析能力的不足。尤其是針對有機結構解析、碳結構解析、無機相鑒定、同分異構分析、結晶度分析等領域實現了重大突破,擴展了掃描電鏡的分析應用領域,能夠全面分析,應用前途一片光明。
其實,電鏡-拉曼的聯用概念并不新鮮,早在十年多前,就有拉曼廠商開始在掃描電鏡上安裝拉曼光譜儀,實現初步聯用。不過由于技術和適用性的限制,拉曼聯用技術未能獲得成功,在電鏡上配備拉曼聯用的*,甚至很多人都未知曉SEM和拉曼的聯用,究其根本原因,還在于傳統的拉曼聯用技術有著非常嚴重的技術障礙。
拉曼電鏡聯用系統有別于傳統的聯用系統,它并不是簡單的將兩個獨立的儀器拼湊到一起,要使得它具有較高的實用性,需要對原來各自的儀器的硬件和軟件都進行改進和新的設計。原先系統的共軸式設計有太多的缺點,很難在實用性上達到令人滿意的要求,所以在設計開發全新的拉曼電鏡聯用系統時摒棄了共軸式設計的方案,而采用了平行軸式設計,即電子束和激光束不重合,而是兩者相平行。
這樣做首先不影響電鏡各種探測器工作的需要,而拉曼也保留了包括物鏡在內的全部光學裝置,這樣和普通獨立的拉曼在硬件上保持一致,也保證了拉曼信號的采集效果。特殊的樣品臺負責試樣在電子束下和激光束下的切換傳輸。該樣品臺定位極其精準,可以確保試樣能夠在兩個分析束下的精準定位。此外,為了確保電子束和拉曼激光束的重合,還專門開發了相關校準技術。